AuToVibr

Scannende Weißlichtinterferometrie (SWLI) ist ein hochgenaues Verfahren zur Messung von Oberflächentopografien. Allerdings ist es auch anfällig für Störbewegungen (Vibrationen) während des Messvorganges, was die Genauigkeit der Messergebnisse erheblich beeinträchtigt. Durch diese Anforderung an vibrationsfreie Umgebungen ist der Einsatz von SWLI in Produktionsumgebungen -insbesondere während der Produktion- nur sehr eingeschränkt möglich.

Das Projekt AuToVibr zielt darauf ab, mithilfe zusätzlicher Daten über die Störbewegungen auf die tatsächliche Position der Messoberfläche relativ zum WLI-Sensor zurückzuschließen und so eine passive Kompensation der Vibrationen zu erreichen. Auf diese Weise soll gewährleistet werden, dass auch in vibrationsbehafteten Umgebungen hochgenaue Topografiemessungen möglich sind.

Der mögliche Einsatz nah an der Produktion birgt das Potential, den Prozess engmaschig zu überwachen und damit etwaige Fehler schnell zu erkennen, was Kosten spart und Ressourcen schont. Gleichzeitig Stellt die Nutzung von Schwingungsdaten zur Vibrationskompensation eine kostengünstige Alternative zu aktiven Maßnahme dar, welche in der Regel die Anschaffung eines neuen WLI erfordern, während die in AuToVibr erforschten Maßnahmen lediglich eine Anpassung der Messsoftware benötigen und einen kompakten externen Vibrationssensor verwenden, der zudem kostengünstig und flexibel auch an bestehenden WLI Systemen eingesetzt werden kann.