Development of an autofocus system for lateral scanning white light interferometry

Der kleine axiale Messbereich (ca. 8 µm) des Weißlichtinterferometers hat zur Folge, dass die Interferenzstreifen schon bei geringen Abweichungen des Scanpfades aus dem Sichtfeld der Kamera wandern. Dies erschwert die Aufnahme von längeren Scans ( > 5 mm) insbesondere an rotierenden, Oberflächen. In der Praxis können Abweichungen vom idealen Scanpfad aufgrund von beispielsweise exzentrischer Rotation oder Formabweichung nie komplett vermieden werden.

Um das Messystem auf den langfristig geplanten In-Process-Einsatz vorzubereiten, soll ein Autofokus entwickelt werden.