Nanometer-Defekte im Produktionsprozess quantitativ erfassen

Abschlussarbeit Master

Weißlicht-Interferometer (WLI) messen Topografien (spiegelnd) glatter Oberflächen flächig und berührungslos. Die vertikale Auflösung liegt im Sub-Nanometerbereich. Die laterale Auflösung liegt im Mikrometerbereich. Die Messung eines Oberflächenbereiches 0,8 mm x 0,8 mm dauert mit einem kommerziell erhältlichen WLI mindestens 5 Sekunden. Damit sind diese Messgeräte nur bedingt dafür geeignet, in moderne Fertigungsabläufe integriert zu werden. Im Rahmen der Masterarbeit sollen die theoretischen Grundlagen für weißlichtinterferometrische Topografiemessungen an lateral zur optischen Achse des Messsystems kontinuierlich bewegten Oberflächen erarbeitet werden. Das Ziel besteht in einem in Bewegungsrichtung (theoretisch) unbegrenzten Messfeld. Die Messobjektbewegung ist Teil des Messprozesses. Die Bewegungsrichtung und -geschwindigkeit sind wesentliche Messprozessparameter. Der parametrierte Messprozess wird in Form einer experimentellen Messanordnung umgesetzt und validiert.


Aufgaben
• Erarbeitung theoretischer Grundlagen der WLI
• Parametrierung des Messprozesses
• Aufbau eines lateral scannenden WLIs (LSWLI)
• Durchführung von Messreihen und Validierung

Voraussetzungen
• Grundkenntnisse der Interferometrie und der Bildverarbeitung
• Grundkenntnisse in Matlab sind vorteilhaft

Kontakt

Stefan Patzelt
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